硅基光电子学 2026.07.07

第一章 绪论

1.1 从微电子到光电子

1.1.1以电子为信息载体的微电子技术,在线宽减小至深纳米尺度时的瓶颈:

1)电互连的固有局限使芯片发热量迅速增加,引起串扰、噪声、功耗、时延等问题,阻碍器件的正常工作 2)线宽减小的工艺极限 3)量子效应引起的相邻导线之间的量子隧穿

1.1.2集成光路的发展

> 与电子相比,光子作为信息载体的优势:

1)更大带宽、更高速率 — 光子没有静止质量,光子之间也几乎没有干扰,光的不同波长可用于多路同时通信

2)光信号处理速度很高,不受电磁场干扰

> 集成光路:利用光波导,将光发射、光耦合、光传输、光调制、光逻辑、光处理、光接收等器件连接在一起,集成到同一基底上构成的具有一定独立功能的微型光子学系统

> 集成光路的优点 / 比较 / 瓶颈:

1)优点:信号带宽大,容易实现密集波分复用(Dense Wavelength Division Multiplexing, DWDM利用不同波长作为独立信息通道,在同一根光纤或同一光子芯片中,同时传输多个光信号的复用技术),尺寸小,重量轻,功耗小,成批制备成本低,可靠性高。

2)和集成电路的比较

3)瓶颈:没有统一的标准化制备技术,导致制备成本很高,存在以下研究热点

1.1.3光电子集成

1)光信号通过光纤与波导直接耦合的方式与外界相连

1.2 硅基光电子学的发展

1.2.1硅基光电子学// 硅材料的优势:

1.2.2硅基光电子学的发展

硅材料先天缺陷:1)间接带隙→发光效率低2)没有Pockels效应→不能直接进行高速电光调制

> 三个突破

1)调制器突破 — 等离子体色散效应(Plasma Dispersion Effect)

改变自由载流子浓度→改变折射率→调制光

2)光源突破 — 外部光源 / 混合集成 / 硅激光

(硅本身不会发光,关键在于如何在硅平台上得到高质量光源)

3)探测器突破 — Ge-on-Si

> 高集成硅光时代 Photonic Integrated Circuit

> 研究热点(为减小器件尺寸,突破衍射极限):光子晶体,表面等离激元

1.2.3硅基光电子集成

  • 三个方面的限制

1)光子器件和电子器件的结构设计是否兼容

2)工艺是否兼容

3)需要各种波导结构实现光的互连,如何集成波导结构

  • 两种可参考的集成方案

1)光电混合集成

2)单芯片集成

1.3 硅基光电子学的应用

1)通信与互连 2)非线性光学效应 3)传感 4)片上实验室......